简述Low-E玻璃产生针孔及斑点的原因

低辐射镀膜玻璃又称“Low-E玻璃”，作为磁控溅射镀膜玻璃的一种，离线“Low-E”与阳光膜不同，大多数都属于软膜，故其缺陷是可能伴随着生产、镀膜后加工以及运输的整个过程中，需要根据具体情况进行判断。本文对Low-E玻璃产生针孔、斑点缺陷的原因进行分析和阐述。

针孔，从镀膜玻璃透射方向看，相对于整体出现部分透明或半透明，没有完整附着膜层的点状缺陷。斑点，从镀膜玻璃的透射方向看，相对膜层整体色泽较暗的点状缺陷。

一、原片新鲜度不够

由于玻璃原片存放时间长或者储存条件恶劣，使浮法玻璃表面污染严重，虽然在镀膜前经过去离子水清洗，但仍无法彻底清除表面污染区，镀膜时就会出现膜层结构不牢的情况。针对这种情况，要采用新鲜的玻璃原片，另外，保鲜期与季节、储存环境还有很大关系。因此，针对不同厂家，不同季节对原片会有不同的要求，需各镀膜厂家自行把握，一般情况下30天内为宜。

二、清洗机清洗能力下降

清洗是镀膜之前的最重要环节，清洗机的状态直接影响着镀膜产品的表面质量。一旦清洗机的清洗能力不够，玻璃表面的残留杂质将形成点状或块状缺陷。造成清洗机清洗质量下降的原因包括：水受到污染（油污、杂质、微生物等），导致无法洗干净；风机过滤装置、水的过滤装置太脏或故障导致过滤失效；水温、水压未达到要求；清洗机高度不够准确或者清洗速度过快。针对这种情况需要视生产的产品状况定期对清洗机进行维护保养，使其处于最佳状态，另外每天的小保养和巡检也不能忽视。

三、掉渣、崩渣

掉渣和崩渣，这也是形成针孔的一个原因。而导致崩渣、掉渣的原因又分为几种，首先在镀膜生产过程中并非始终单一生产一个品种，在不同的产品间变换时，所使用的靶材不同或同材料会使用不同的功率，由于盖板、挡板、底板均为金属，均有一定的热胀冷缩，当其热胀冷缩时覆盖在其表面的溅射物的膨胀系数与金属不同，故形成龟裂、崩开，掉落到玻璃表面形成针孔、斑点。针对这种情况一般做法是在换靶材时对装进真空腔体前的盖板、底板进行彻底的喷砂处理，喷砂以喷出新鲜断面为好。另外一种做法就是在这些关键的部件表面进行特殊处理，使其能够阻挡溅射物轻易脱落或弹开。其次，除了靶材本身质量问题外，部分含 Zn 材质的靶材（如 ZnAl、ZnSn）在使用一段时间后会出现周期性掉小渣现象，这种现象很难避免，需要对其进行常规的烧靶来解决。同时阴极盖板的漏气也会导致靶材的掉渣，所以，靶材周围的气密性需要在换靶前后格外注意。